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产品分类

        半导体的关键性制程均需于干净无尘的环境內进行,半导体设备零件也需要在高温、真空且具有腐蚀性气体的环境下使用,而精密陶瓷材料在复杂的物理和化学环境下能保持高度的稳定性。

        本公司生产的半导体陶瓷备件,选用99.5%纯度氧化铝陶瓷,经冷等静压成型、高温烧结、精密加工和抛光而成。具有优越的耐磨、耐腐蚀、低膨胀系数、绝缘等性能,可以很好的满足半导体设备对零件的苛刻的要求。



        右侧产品为部分半导体设备陶瓷备件,也可根据客户的图纸或样品进行定制生产。

产品列表

  • Focus Ring
  • Ceramic Clamp Ring
  • Ceramic Focus Ring
  • 3
  • 5
  • 2
  • Filtering Plate
  • Insulating Protection Ring
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